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洁净度等级标准

作者: 添加时间:2013/3/28 17:29:21 浏览:

 

 

 

洁净度等级标准

 

 

ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0。1um~5。0um 范围内呈累积分布的粒子群。

 

根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

 

空气洁净度分级标准: ISO14644-1 (国际标准)

 

 
空气洁净度等级(N)
 
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
 
0。1 um
 
0.2 um
 
0.3 um
 
0.5um
 
1um
 
5 um
 
ISO Class 1
 
10
 
2
 
 
 
 
 
 
 
 
 
ISO Class 2
 
100
 
24
 
10
 
4
 
ISO Class 3
 
1 000
 
237
 
102
 
35
 
8
 
ISO Class 4
 
10 000
 
2 370
 
1 020
 
352
 
83
 
ISO Class 5
 
100 000
 
23 700
 
10 200
 
3 520
 
832
 
29
 
ISO Class 6
 
1 000 000
 
237 000
 
102 000
 
35 200
 
8 320
 
293
 
ISO Class 7
 
 
 
352 000
 
83 200
 
2 930
 
ISO Class 8
 
 
 
3 520 000
 
832 000
 
29 300
 
ISO Class 9
 
 
 
35 200 000
 
8 320 000
 
293 000
 
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。

 

 

 

空气洁净度分级标准: GB/T16292-1996 (中国标准)

 

 
粒径、数值洁净度级别
 
尘埃最大允许数/立方米
 
微生物最大允许数
 
≥0。5um
 
≥5um
 
浮游菌/立方米
 
沉降菌/皿
 
100 级
 
3,500
 
0
 
5
 
1
 
10,000 级
 
350,000
 
2,000
 
100
 
3
 
100,000 级
 
3,500,000
 
20,000
 
500
 
10
 
300,000 级
 
10,500,000
 
60,000
 
 
15

 

 

 

美国联邦标准 209D 洁净室分级:(已停用)

 

 
空气洁净度等级(N)
 
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
 
0.1 um
 
0。2 um
 
0.3 um
 
0.5um
 
5 um
 
1
 
35
 
7.5
 
3
 
1
 
 
 
10
 
350
 
75
 
30
 
10
 
100
 
 
 
750
 
300
 
100
 
1000
 
 
 
 
 
 
 
1000
 
7
 
10000
 
 
 
 
 
 
 
10000
 
70
 
100000
 
10000
 
700

 

 

 

英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级:

 

 
空气洁净度等级(N)
 
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
 
0.3um
 
0.5um
 
5um
 
10um
 
25 um
 
C
 
100
 
35
 
0
 
 
 
 
 
D
 
1000
 
350
 
0
 
E
 
10000
 
3500
 
0
 
F
 
 
 
3500
 
0
 
G
 
100000
 
35000
 
200
 
0
 
H
 
 
 
35000
 
200
 
0
 
J
 
 
 
350000
 
2000
 
450
 
0
 
K
 
 
 
3500000
 
20000
 
4500
 
500
 
L
 
 
 
 
 
200000
 
45000
 
5000
 
M
 
 
 
450000
 
50000

 

 

 

各种国际标准的比较:

 

 
美国联邦
 
美国联邦
 
英国标准
 
澳大利亚标准
 
法国标准
 
德国标准
 
国际标准
 
日本标准
 
标准 209D
 
标准 209E
 
BS5295
 
AS1386
 
AFNORX44101
 
VDI2083
 
14644-1
 
JACA24
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
1
 
1
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
0
 
2
 
2
 
1
 
M1。5
 
C
 
0.035
 
 
1
 
3
 
3
 
10
 
M2.5
 
D
 
0.35
 
 
2
 
4
 
4
 
100
 
M3.5
 
E
 
3.5
 
4000
 
3
 
5
 
5
 
1000
 
M4.5
 
G
 
35
 
 
4
 
6
 
6
 
10000
 
M5.5
 
J
 
350
 
400000
 
5
 
7
 
7
 
100000
 
M6.5
 
K
 
3500
 
4000000
 
6
 
8
 
8
 
 
 
 
 
M
 
 
 
 
 
7
 
9
 

 

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